Titlebook: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten; Jochen Schließer Book 1999 Springer-Verlag, Berlin, Heidelber

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978-3-540-65560-2Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1999

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Konzeption eines Integralen Reinheitssystems,Aus der Analyse läßt sich ableiten, daß die existierenden “Reinen” Produktionssysteme und ihre Komponenten als Basis für die Konzeption eines “Integralen” Reinheitssystems herangezogen werden können. Die “Reinen” Produktionssysteme sind in Bild 4.1 den Auswahlkriterien, unterteilt in Muß- und Wunschanforderungen, gegenübergestellt und bewertet.

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Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen,Im Rahmen der Neuentwicklung.werden die Komponenten zur strömungstechnischen Auslegung von “Integralen” Reinheitssystemen auf ihre Praxistauglichkeit untersucht. Mit dem entwickelten Verfahren werden die realisierten “Integralen” Reinheitssysteme qualifiziert.

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Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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