Titlebook: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten; Jochen Schließer Book 1999 Springer-Verlag, Berlin, Heidelber

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-21 17:40:32

书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten影响因子(影响力)

书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten影响因子(影响力)学科排名

书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten网络公开度

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书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten被引频次

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书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten年度引用

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书目名称Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten读者反馈

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显示全部楼层 · 发表于 2025-3-21 21:07:17

Stand der Technik,taminationskritischen Produkten ermöglicht wird. Zur Bereitstellung und Gewährleistung der prozeß- und produktspezifischen Reinheitsanforderungen müssen die beteiligten Komponenten, sowohl einzeln als auch in ihrem Zusammenwirken, für jeden Produktionsschritt die Verunreinigungsgefahr in Produktnähe

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 03:51:35

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 06:57:22

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 11:45:29

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 16:39:17

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 17:29:10

Einleitung,n, bei gleichzeitiger Zunahme der Anzahl an kontaminationskritischen Fertigungsschritten direkt an die unmittelbare Produktumgebung gestellt (Gath 1993, JESSI 1995, Kitajima 1997, Semiconductor 1997, SIA 1994).

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-22 23:51:16

,Analyse von Produktionssystemen für “reine” Anwendungen und Ableitung von Entwicklungsschwerpunktennheitsanforderungen zur Verfügung zu stellen sowie die Kontinuität in der Versorgung zu gewährleisten. Bild 3.1 zeigt den Vergleich zwischen den eingesetzten Versorgungssystemen für die Medien Reinraumluft, Reinstgase und Reinstflüssigkeiten.

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-23 04:36:40

Entwicklung eines Verfahrens zur Qualifizierung von Reinheitssystemen,1 die Auswirkungen der grundlegenden Komponenten des Qualifizierungsverfahrens sowie des zu qualifizierenden Prüflings “Reinheitssystem” auf die analysierten Bewertungskriterien einander gegenübergestellt.

显示全部楼层 · 发表于 2025-3-23 08:37:49

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