Titlebook: Ionenimplantation; Heiner Ryssel,Ingolf Ruge Book 1978 B. G. Teubner, Stuttgart 1978 Aluminium.Dotierung.Energie.Halbleiter.Halbleiterbaue

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978-3-519-03206-9B. G. Teubner, Stuttgart 1978

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Book 1978ation tätige Wissenschaftler wenden und deshalb der Theorie einen sehr breiten Raum einräumen. Im Gegensatz hierzu wendet sich das vorliegende Werk weniger an den Implanta­ tionsfachmann, sondern mehr an Forscher und Entwickler in Industrie, F or­ schungslaboratorien und Hochschulen, die an der Ione

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Einleitung,e Reichweite von 10 keV Phosphorionen in Silicium 14 nm und von 1 MeV Borionen 1756 nm. Durch einen solchen Ionenbeschuß ist es möglich, praktisch alle Eigenschaften der Festkörperoberfläche bzw. der oberflächennahen Schicht des Festkörpers zu verändern.

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Eigenschaften ionenimplantierter Halbleiterschichten,n wird verwendet, um die Strahlenschädigung der implantierten Kristalle zu untersuchen. Dazu gehören Messungen der Volumenänderung, der Elektronenspinresonanz, der paramagnetischen Resonanz und der Veränderung des Reflexionsfaktors, um nur einige Verfahren zu nennen.

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Book 1978sche Aktivierung implantierter Ionen, Diffusionseffekte sowie die Diskussion der hauptsächlich verwendeten Meß­ methoden zur Untersuchung implantierter Schichten, die apparativen Anforderungen an Beschleunigungssysteme und natürlich zahlreiche Beispiele zur Anwendung der Ionenimplantation. Die Schwe

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Heiner Ryssel,Ingolf Ruget, information disclosure and poverty alleviation. ..Audience:. This volume will be of interest to those who areinvolved in innovative interdisciplinary policy 978-90-481-5617-7978-94-015-9670-1Series ISSN 1566-7871

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r. It covers concepts of new development patterns, new energy andwater supply, sustainable agriculture, information technology andenvironment, information disclosure and poverty alleviation. ..Audience:. This volume will be of interest to those who areinvolved in innovative interdisciplinary policy

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Heiner Ryssel,Ingolf Ruger. It covers concepts of new development patterns, new energy andwater supply, sustainable agriculture, information technology andenvironment, information disclosure and poverty alleviation. ..Audience:. This volume will be of interest to those who areinvolved in innovative interdisciplinary policy