Titlebook: Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon; Peter Pichler Book 2004 Springer-Verlag Wien 2004 Semiconductor.accep

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Intrinsic Point Defects, Impurities, and Their Diffusion in Silicon978-3-7091-0597-9Series ISSN 0179-0307

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0179-0307 n to newcomers in this field up to a comprehensive reference for experts in process technology, solid-state physics, and simulation of semiconductor processes.978-3-7091-7204-9978-3-7091-0597-9Series ISSN 0179-0307

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