Titlebook: Halbleiter-Technologie; Ingolf Ruge Textbook 19842nd edition Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1984 Halbleiter

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https://doi.org/10.1007/978-1-349-08847-8Unter Planartechnik versteht man die Kombination einer Reihe von aufeinanderfolgenden und sich zum Teil wiederholenden Einzelprozessen an einkristallinen Halbleiterscheiben. Dies sind z.B. Diffusion, Oxidation, Epitaxie, Lithographie, Ätztechnik und Metallisierung.

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,Grundzüge der Planartechnik,Unter Planartechnik versteht man die Kombination einer Reihe von aufeinanderfolgenden und sich zum Teil wiederholenden Einzelprozessen an einkristallinen Halbleiterscheiben. Dies sind z.B. Diffusion, Oxidation, Epitaxie, Lithographie, Ätztechnik und Metallisierung.

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,Spezielle Technologien für die Herstellung Integrierter Schaltungen,Bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen werden spezielle Technologien angewendet, die der Übersicht wegen nachfolgend zu-sammengefaßt sind. Es sollen hier nur die technologischen Einzelheiten beschrieben werden, während die Begründung für die Anwendung dieser speziellen Technologien in Kap. 11 im Vordergrund steht.

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Rafael Bello Pérez,Maria M. Garciai der Implementierung digitaler Lösungen und neuer innovativer Formen der Zusammenarbeit, als nur eingeschränkt adaptiv und agil bewertet. Mit dem Gesetz sollen die Strukturen des Gesundheitssystems der Dynamik der digitalen Transformation und der Geschwindigkeit von Innovationsprozessen angepasst werden.

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