Titlebook: Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden; Bernd Höfflinger,Günter Zimmer,Heinz Ger

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Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalenhttp://image.papertrans.cn/e/image/303753.jpg

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https://doi.org/10.1007/978-3-658-33183-2Zerbst-Methode /5/ aus dem C.(t) Verhalten von MOS-Kondensatoren über undotiertem Substratmaterial bestimmt. Die Messung erfolgte auf einem abgeschirmten Spitzenmeßplatz unter Verwendung eines rechnergesteuerten Meßsystems, dessen Blockschaltbild in Abb. 6 wiedergegeben ist.

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978-3-531-03133-0Westdeutscher Verlag GmbH, Opladen 1982

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