Titlebook: Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen; Ralf Kaun Book 1997 Springer-Verlag, Berlin, Heid

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书目名称Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen影响因子(影响力)




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书目名称Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen读者反馈




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MAIM

GULF

可商量

Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption,strukturen besteht aus der Dekomposition übergeordneter Funktionen, der zeitlichen oder logischen Zuordnung von Funktionen zu Funktionssequenzen sowie der Gruppierung von Funktionssequenzen zu Funktionsnetzen. Hinzu kommen noch Schritte zur Bewertung und Auswahl (vgl. Kap. 6.4) von möglichen alterna

Parley

Modicum

信徒

Entropion

Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkoern mit bekannter partikulärer Kontamination für Meßzwecke (Sedimentationsuntersuchungen), wobei die Zahl der verfügbaren Wafer begrenzt ist. Ziel der Entwicklung ist es daher, die Wafer automatisch auf Partikelkontamination zu untersuchen und dem Anwender definierte Reinheitsklassen an Wafern zur Verfügung zu stellen.

Hyaluronic-Acid

sacrum

Entwicklungsschwerpunkte,ptionsphase die Phase der Aufgabendefinition einen geringen Einfluß auf die Reinraumtauglichkeit der Anlage ausübt, muß das zu entwickelnde Verfahren auf die funktionelle Analyse und die konzeptionelle Gestaltung ausgerichtet werden. Bei diesen beiden Phasen ist die Reinraumtauglichkeit am stärksten beeinflußbar.