Titlebook: Silizium-Halbleitertechnologie; Ulrich Hilleringmann Textbook 20044th edition Springer Fachmedien Wiesbaden 2004 Chip.Chipherstellung.Elek

REP

Dotiertechniken,stall werden im Verlauf der Herstellung gezielt verschiedene Dotierstoffe eingebracht, die in festgelegten Gebieten der Halbleiteroberfläche zu einer Verstärkung, Abschwächung oder Umkehrung der Substratdotierung führen. Die eingebrachte Dotierung ändert die elektrischen Eigenschaften des Siliziums.

反复无常

Affable

遍及

Scheibenreinigung, jede Verunreinigung zu einer Veränderung der Struktur an der Scheibenoberfläche bzw. der Dotierungs- und Ladungsverhältnisse im Kristall führt. Diese wirken sich negativ auf die Ausbeute an funktionsfähigen Elementen sowie die Zuverlässigkeit und Langzeitstabilität der Schaltungen aus.

CURL

丰满有漂亮

,Erweiterungen zur Höchstintegration,iaturisierung scheidet bei der vorgestellten Prozessführung infolge der begrenzten Auflösung der Fotolithografie, der eingeschränkten Spannungsfestigkeit der MOS-Bauelemente und der wachsenden Bahnwiderstände im Polysilizium aus. Aus diesem Grund sind umfangreiche Änderungen im Prozessablauf erforde

reject

进步

贪婪的人

虚度