| 书目名称 | Mikrosensorik |
| 副标题 | Eine Einführung in T |
| 编辑 | Thomas Elbel |
| 视频video | http://file.papertrans.cn/635/634085/634085.mp4 |
| 丛书名称 | Studium Technik |
| 图书封面 |  |
| 描述 | Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lösung der grundsätzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Meßgrößen- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit völlig neuen Anwendungsmöglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der meßtechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tätige Ingenieure können das Buch zur Einarbei tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verständnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolith |
| 出版日期 | Textbook 1996 |
| 关键词 | Beschleunigungssensor; Handel; Ingenieur; Messtechnik; Mikrosensor; Mikrosystem (MEMS); Physik; Sensor; Sens |
| 版次 | 1 |
| doi | https://doi.org/10.1007/978-3-663-05839-7 |
| isbn_softcover | 978-3-528-03377-4 |
| isbn_ebook | 978-3-663-05839-7 |
| copyright | Springer Fachmedien Wiesbaden 1996 |
|Archiver|手机版|小黑屋|
派博传思国际
( 京公网安备110108008328)
GMT+8, 2025-8-25 03:06
发表于 2025-3-21 16:05:03
