Titlebook: Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration; J. Laconte,D. Flandre,J. -P. Raskin Book 2006 Springer-Verlag US 2006 CMOS.Co

Anemia

Foreknowledge

ingungen. ..Diese Themenbreite macht das Fachbuch auch zu einem wichtigen Fundus für alle, die in den entsprechenden Fach- und Themenbereichen studieren, als Wissenschaftler:innen forschen oder sich an Institutionen wie der Deutschen Stiftungsakademie weiterbilden... .978-3-658-44508-9

小画像

J. Laconte,D. Flandre,J. -P. RaskinCo-integration of MEMS and MOS in SOI technology is promising and well demonstrated here.The impact of Micromachining on SOI devices is deeply analyzed for the first time.Include extensive TMAH etchin

OUTRE

小卷发

Pelago

https://doi.org/10.1007/0-387-28843-0CMOS; Co-integration; Gas-flow sensors; REM; Silicon-on-Insulator; TMAH released membranes; Thin-films res

aphasia

ly analyzed for the first time.Include extensive TMAH etchin.Co-integration of sensors with their associated electronics on a single silicon chip may provide many significant benefits regarding performance, reliability, miniaturization and process simplicity without significantly increasing the tota

Deject

Book 2006iability, miniaturization and process simplicity without significantly increasing the total cost...Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-integration .covers the challenges and interests and demonstrates the successful co-integration of gas-flow sensors on dielectric membrane, with their as

平

消耗

g heraus noch unterrepräsentiert. Doch: Es gibt eine immer stärker wachsende Gruppe an Engagierten, die in den unterschiedlichsten Bereichen der Zivilgesellschaft wirken. Besonders in Krisenzeiten zeigt sich, welch wichtige Rolle diese Akteure spielen können, wollen und müssen, wenn wir den Herausfo