Titlebook: MEMS in der Mikrosystemtechnik; Aufbau, Wirkprinzipi Markus Glück Textbook 2005 Springer Fachmedien Wiesbaden 2005 ATZ elektronik.Berechnun

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,Systemintegration und Datenübertragung,Längst hat sich die Mikrosensorik gewandelt — vom reinen . der Anfangszeit über die Aufgabenstellungen der Mess- und Regeltechnik und der Automatisierungstechnik hin zu Mikro-Elektro-Mechanischen . und der hierfür unabdingbaren zuverlässigen . der dezentralen Systeme und Einzelkomponenten.

象形文字

Energieversorgung,Die Versorgung von immer kleineren Mikro-Elektro-Mechanischen Sensorsystemen (MEMS) mit elektrischer Energie beschäftigt zunehmend die Entwicklung und das Design der mikrosystemtechnischen Produkte und erfordert neue Ansätze bis hin zu energieautarken Mikrosystemen.

ORBIT

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s aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter­

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,Einführung,u „erfahren“. Es gilt auch die inneren Zustände eines komplexen Systems fortlaufend zu überwachen und gelegentlich regelnd einzugreifen. So überprüfen beispielsweise Chemosensoren den Sauerstoffgehalt im Gehirn, Dehnungsrezeptoren in Muskelgeweben registrieren deren Spannungszustand, etc.

beta-cells

Verfahren der MEMS Fertigung,erte Systeme herzustellen, die in geeigneter Weise Bewegungen, Geräusche, Lichtreize, Geruchsstoffe und Farbveränderungen aufnehmen und sogar in der Lage sind, darauf in entsprechend geeigneter Weise zu reagieren.

TSH582

Grundlagen,ll verzichtet wird, sofern diese nicht später noch gebraucht werden. Hierbei sei auf einschlägige Fachliteratur der allgemeinen Sensorik, Festkörperphysik und Werkstoffkunde verwiesen [3,23,29,30,32,43,53,71,74].

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