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Titlebook: Ion Implantation and Synthesis of Materials; Michael Nastasi,James W. Mayer Book 2006 Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2006 Diffusion.Dop

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发表于 2025-3-23 12:27:03 | 显示全部楼层
Book 2006actions used to predict ion ranges, ion straggling and lattice disorder. Also treated are shallow-junction formation and slicing silicon with hydrogen ion beams. Topics important for materials modification, such as ion-beam mixing, stresses, and sputtering, are also described.
发表于 2025-3-23 14:26:23 | 显示全部楼层
Book 2006teps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is an essential feature of implantation. Ion beam processing can also be used to improve corrosion resistance, to harden surfaces, to reduce wear and, in general, to improve materials
发表于 2025-3-23 21:31:59 | 显示全部楼层
dem Leser Orientierungshilfen zu geben. Wegen der Vielschichtigkeit der weltweiten Verflechtungen werden die einzelnen Sachverhalte aus unterschiedlichen Blickwinkeln betrachtet. Hohes Bevölke­ rungswachstum zum Beispiel ist ein typisches Kennzeichen der Entwicklungslän­ der und wird folglich als Problemfeld 978-3-7908-0349-5978-3-642-86593-0
发表于 2025-3-24 01:41:46 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 05:05:44 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 10:18:14 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 13:07:42 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 15:17:50 | 显示全部楼层
Doping, Diffusion and Defects in Ion-Implanted Si,
发表于 2025-3-24 22:34:34 | 显示全部楼层
Ion-Induced Atomic Intermixing at the Interface: Ion Beam Mixing,
发表于 2025-3-25 02:06:04 | 显示全部楼层
Application of Ion Implantation Techniques in CMOS Fabrication,
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