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Titlebook: Einführung in die Mikrosystemtechnik; Grundlagen und Praxi Friedemann Völklein,Thomas Zetterer,Otto Mildenber Textbook 20001st edition View

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楼主: 相似
发表于 2025-3-23 11:33:50 | 显示全部楼层
Einleitung,kroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbere
发表于 2025-3-23 16:45:29 | 显示全部楼层
Basistechnologien der Mikrosystemtechnik,m von gefilterter Luft in dem Bereich, in dem Substrate partikelarm mit geeigneten Prozeßmedien und -anlagen prozessiert und gehandhabt werden Außerdem erfolgt in peripheren Einheiten die Bereitstellung aller erforderlichen Medien (z.B. Prozeßgase, Druckluft, DI-Wasser, Kühlwasser, Stromversorgung,
发表于 2025-3-23 18:11:37 | 显示全部楼层
Grundstrukturen und Anwendungen,ckelt und gefertigt: 1962 wurden Siliziumwafer als Verformungskörper mit integrierten Piezowiderständen realisiert [Tufte62]. Als kommerziell erfolgreiche Produkte kamen seit Beginn der 70er Jahre Drucksensoren auf den Markt, bei denen Silizium-Membranen mit integrierten Piezowiderständen als mikrom
发表于 2025-3-23 23:39:00 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 05:46:42 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 09:14:44 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 14:09:25 | 显示全部楼层
On Development: Practice and EthicsSensor, Aktor, mikroelektronischer Schaltkreis, Datenspeicher). Man kann sie auch hinsichtlich ihrer primären Funktionalität klassifizieren, z.B. als mikromechanische, mikrooptische, mikrofluidische Komponente.
发表于 2025-3-24 17:55:08 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 23:02:00 | 显示全部楼层
Grant Ledgerwood,Arlene Idol Broadhurstrch mikrotechnische Herstellungsprozesse erzeugt werden und besitzen gegenüber konventionell hergestellten Sonden die Vorteile der Massenfertigung und Integrierbarkeit unterschiedlicher funktioneller Elemente.
发表于 2025-3-25 03:00:48 | 显示全部楼层
Basistechnologien der Mikrosystemtechnik,he Anordnung und Eigenschaften werden durch die Anwendung, d.h. die in dieser Fertigungsumgebung herzustellenden Produkte, definiert. Die Größe eines Reinraums kann dabei wenige Quadratmeter (z.B. fir einen isolierten Mikromontageplatz) oder mehrere tausend Quadratmeter fir eine komplette Prozeßlinie (z.B. eine Speicherchipfertigung) betragen.
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