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Titlebook: Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten; Rolf Herz Book 1989 Springer-Verlag, B

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发表于 2025-3-21 17:40:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
书目名称Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
编辑Rolf Herz
视频video
丛书名称IPA-IAO - Forschung und Praxis
图书封面Titlebook: Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten;  Rolf Herz Book 1989 Springer-Verlag, B
描述Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die möglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammenstellen und die verfügbaren Meßtechniken für Partikel in Flüssigkeiten kritisch beurteilen. Auf der Basis dieser Analysen werden die prüfbaren Parameter ermittelt und die entsprechenden Anforderungen an die Prüfungsverfahren formuliert. Aus den gesammelten Erfahrungen bei praktischen Kontaminationsuntersuchungen wird ein Universalprüfstand für sämtliche Prüfungen konzipiert und entwickelt. Die Untersuchungen liefern eine Reihe grundlegender Ergebnisse. Es werden daraus u.a. der optimierte Einsatz der Partikelmeßgeräte, günstige und ungünstige Konstruktionsmerkmale von Ventilen, Einflüsse auf das Filterabscheideverhalten und das Gesamtverhalten von Versorgungssystemen abgeleitet. Die Eignung der entwickelten Prü
出版日期Book 1989
关键词Arbeit; Einsatz; Entwicklung; Fassung; Filter; Konstruktion; Messgerät; Messtechnik; Partikel; Partikelmesste
版次1
doihttps://doi.org/10.1007/978-3-642-83865-1
isbn_softcover978-3-540-51457-2
isbn_ebook978-3-642-83865-1
copyrightSpringer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1989
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发表于 2025-3-21 23:34:00 | 显示全部楼层
Praktische Kontaminationsuntersuchungen,ysteme zum Einsatz. Durchlaufsysteme sind zweckmäßig, wenn starke Hydrosolkonzentrationen bei den Prüfvorgängen zu erwarten sind, z. B. durch Hydrosolzugabe von außen. Sie sind jedoch nur bei Verwendung von Reinstwasser mit kleinen Durchflußraten wirtschaftlich sinnvoll.
发表于 2025-3-22 02:38:25 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-22 07:46:34 | 显示全部楼层
Zusammenfassung und Ausblick,sverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgte eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus wurden die möglichen Partikelquelle
发表于 2025-3-22 10:04:16 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-22 14:59:22 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-22 19:48:46 | 显示全部楼层
sverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die möglichen Partikelqu
发表于 2025-3-22 22:47:05 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-23 02:57:41 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-23 05:54:51 | 显示全部楼层
Stand der Technik,Im folgenden wird in der Gesamtheit der Halbleiterfertigungsprozesse speziell auf diejenigen eingegangen, in denen flüssige Prozeßmedien zum Einsatz kommen.
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