| 书目名称 | Technologie hochintegrierter Schaltungen |
| 编辑 | Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich |
| 视频video | http://file.papertrans.cn/903/902204/902204.mp4 |
| 丛书名称 | Halbleiter-Elektronik |
| 图书封面 |  |
| 描述 | Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben. |
| 出版日期 | Book 19881st edition |
| 关键词 | CMOS; Mikrometer; Schaltung; Strukturgröße; Werkstoff |
| 版次 | 1 |
| doi | https://doi.org/10.1007/978-3-642-97059-7 |
| isbn_ebook | 978-3-642-97059-7Series ISSN 0172-5882 |
| issn_series | 0172-5882 |
| copyright | Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1988 |
|Archiver|手机版|小黑屋|
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GMT+8, 2025-8-16 21:01
发表于 2025-3-21 18:52:58
