Titlebook: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik; Gerhard Franz Book 2004Latest edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004 Energie.Gleichst

骗子

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Synthesize

思想流动

Ionenstrahlsysteme,. Von einer ganz anderen Seite kommt das Ionenstrahlverfahren: Bei der NASA wurde Ende der 1950iger Jahre an der Entwicklung von Ionentriebwerken gearbeitet [223J [224], um Flüge in den interplanetarischen Raum zu ermöglichen. Diese Systeme wurden zur Erzeugung einer möglichst hohen Schubkraft optim

AMPLE

Accomplish

,Trockenätzverfahren,en Molekein — meist ein Edelgas, zu dem reaktive Gase dotiert werden können —, abgestäubt wird. Diese erfahren im Kathodendunkelraum eine starke Beschleunigung in Richtung des elektrischen Feldes und nehmen dabei eine kinetische Energie auf, die ein Vielfaches der Gitterenergie betragen kann. Dadurc

epinephrine

,Ätzmechanismen,ren kann. Dabei standen physikalisch orientierte Fragen im Vordergrund. Im abschließenden Kapitel wollen wir nun die Frage der Ôtzung eher unter dem chemischen Blickwinkel betrachten. Aus dem Plasma-Bulk werden Ionen und Elektronen auf die SubstratoberflÔche geschossen. Wie allerdings bereits eine Ü

贪婪地吃

Ausblick,1 Pa, während IE im Druck um eine Größenordnung und PE um zwei Größenordnungen höher liegen. Heliconwellen- und ECR/ICP-Verfahren umfassen den Bereich zwischen IBE und IE. Das kann auch von den ätzraten gesagt werden.

忍受

Anhang, beschreibt die Dichte der Elektronen im Orts- und Impulsraum und ist daher eine Kontinuitätsgleichung von Gewinn und Verlust im Phasenraum. Sie kann deswegen geschrieben werden als f(r, v). Das Produkt f(r, v)d(r dv gibt damit die Zahl N der Elektronen im Volumenelement d3r d3v an. Integrieren wir