| 书目名称 | Mikrosystemtechnik auf Silizium | | 编辑 | Ulrich Hilleringmann | | 视频video | | | 图书封面 |  | | 描述 | Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Prozeß technik haben andere Materialien weitgehend verdrängt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium für Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ungünstigen optischen Eigen schaften nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik geführt, um die "Mechatronik" um integriert-optische Komponenten zu erweitern. Ziel dieses Buches ist es, Wege zur systemgerechten Einbindung der Integrierten Optik in die mikroelektronische Prozeßführung aufzuzeigen und die Eignung der Technologie zur monolithischen Integration von optischen, mikromechanischen und mikroelektronischen Bauelementen auf einem Siliziumchip anhand real gefertigter Muster zu demonstrieren. Die Basis der monolithischen Systemintegration auf Silizium wird ausgehend von der mikroelektronischen Prozeßtechnik diskutiert. Auf der Grundlage der Halbleitertechnologie zur Schaltungsintegration aufbauend werden mögliche Bauformen der Wellenleiter und | | 出版日期 | Textbook 1995 | | 关键词 | Entwicklung; Halbleiter; Mechanik; Mechatronik; Mikroelektronik; Mikrosystem (MEMS); Mikrosystemtechnik; Op | | 版次 | 1 | | doi | https://doi.org/10.1007/978-3-322-92766-8 | | isbn_softcover | 978-3-519-06158-8 | | isbn_ebook | 978-3-322-92766-8 | | copyright | Springer Fachmedien Wiesbaden 1995 |
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发表于 2025-3-21 19:30:18
