| 书目名称 | Mikrosystemtechnik | | 副标题 | Prozessschritte, Tec | | 编辑 | Ulrich Hilleringmann | | 视频video | http://file.papertrans.cn/635/634118/634118.mp4 | | 概述 | Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der Mikrosystemtechnik | | 图书封面 |  | | 描述 | Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. | | 出版日期 | Textbook 2006 | | 关键词 | Berechnung; BranchenIndex Online; Elektronik; Fachinformatiker; Ingenieurstudium; Mikrosystem (MEMS); Mikr | | 版次 | 1 | | doi | https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1 | | isbn_softcover | 978-3-8351-0003-9 | | isbn_ebook | 978-3-8351-9022-1 | | copyright | Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2006 |
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