SCIE期刊JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 2024/2025影响因子:2.408 (J VAC SCI TECHNOL A) (0734-2101). (PHYSICS, APPLIED

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Submitted on: 30 April 2003. Revised on: 01 June 2003. Accepted on: 25 June 2003. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

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Submitted on: 12 February 2011. Revised on: 25 March 2011. Accepted on: 08 April 2011. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

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Submitted on: 20 April 2022. Revised on: 27 May 2022. Accepted on: 05 June 2022. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

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Submitted on: 09 July 2015. Revised on: 22 August 2015. Accepted on: 11 September 2015. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

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