SCIE期刊JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 2024/2025影响因子:2.439 (J MICROMECH MICROENG) (0960-1317). (PHYSICS,

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Submitted on: 16 November 2001. Revised on: 27 January 2002. Accepted on: 07 March 2002. ___________________JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING

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