SCIE期刊JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS 2024/2025影响因子:2.527 (J MICROELECTROMECH S) (1057-7157). (PHYSICS, APPLI

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Submitted on: 02 November 2018. Revised on: 05 February 2019. Accepted on: 19 March 2019. ___________________JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

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Submitted on: 30 August 2011. Revised on: 08 November 2011. Accepted on: 22 December 2011. ___________________JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

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Submitted on: 07 August 2002. Revised on: 12 November 2002. Accepted on: 01 December 2002. ___________________JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

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