书目名称 | Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs |
编辑 | Frank Schröder-Oeynhausen |
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描述 | Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses. |
出版日期 | Textbook 1997 |
关键词 | Chemische Analyse; Elektronik; Galliumverbindungen; Halbleiter; Kristall; Massenspektrometrie; Nanotechnol |
版次 | 1 |
doi | https://doi.org/10.1007/978-3-322-95365-0 |
isbn_softcover | 978-3-8244-2091-9 |
isbn_ebook | 978-3-322-95365-0 |
copyright | Deutscher Universitäts-Verlag GmbH, Wiesbaden 1997 |