书目名称 | Montage hybrider Mikrosysteme |
副标题 | Handhabungs- und Füg |
编辑 | Ulrich Dilthey,Anette Brandenburg |
视频video | |
概述 | In kompakter Form werden der Stand der Technik und neue Technologien für die Herstellung hybrider Mikrosysteme vorgestellt.Includes supplementary material: |
丛书名称 | VDI-Buch |
图书封面 |  |
描述 | .Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fügeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessüberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme.. |
出版日期 | Book 2005 |
关键词 | Fertigung; Fertigungsverfahren; Fügeverfahren; Handel; Handhabung; Mikrosystem (MEMS); Mikrosystemtechnik; |
版次 | 1 |
doi | https://doi.org/10.1007/3-540-27536-3 |
isbn_ebook | 978-3-540-27536-7Series ISSN 2512-5281 Series E-ISSN 2512-529X |
issn_series | 2512-5281 |
copyright | Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2005 |