Titlebook: MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications; Jan G. Korvink,Oliver Paul Book 2006 Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2006

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Micromachining Technology,n film. Silicon has excellent mechanical properties,[.] making it an ideal material for machining. An early silicon (pressure) sensor was made by Honeywell in 1962 using isotropic etching.[.] In 1966, Honeywell developed a technique to fabricate thin membranes using mechanical milling. Crystal-orien

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17 Interface Circuitry and Microsystems,the quantity to be measured into an electrical signal, such as a voltage, a current, or a resistive or capacitive variation. The data obtained from the transducers then have to be translated into a form understandable by humans, computers, or measurement systems. An electronic circuit called a senso

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Oliver Paul, wobei beständige Grenzziehungen erforderlich sind. Bei diesem Typus ist eine deutliche Überschneidung zwischen religiöser und nichtreligiöser Lebensführung erkennbar. Beide Handlungs- und Wertsphären sind nicht dauerhaft miteinander verbunden, aber auch nicht strikt voneinander abgegrenzt; sie gre

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Osamu Tabata,Toshiyuki Tsuchiyaurch die Konflikthaftigkeit einer muslimischen Identität in der deutschen bzw. französischen Gesellschaft geprägt, andererseits stellt sie die Lösung einer inhärent biografischen Problemlage dar. Die Fusion von Religion und Arbeit in einem biografischen Gesamtprojekt, ist der Versuch einer Bewältigu

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