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Titlebook: Kalte Plasmen; Grundlagen, Erschein Gerhard Franz Book 19901st edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990 Energie.Glimmentladungen.Ober

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楼主: 法庭
发表于 2025-3-23 11:01:57 | 显示全部楼层
Anhang,Mit der Bedingung.kann die Geschwindigkeits- oder Energieverteilung der Elektronen durch Variation des Elektronenstroms mit dem Potential V. bestimmt werden. Der Mittelwert der Energie ergibt sich durch Anwendung einer normierten Verteilungsfunktion f auf die Meßwerte der Energie nach der Beziehung..
发表于 2025-3-23 16:26:22 | 显示全部楼层
http://image.papertrans.cn/k/image/541757.jpg
发表于 2025-3-23 18:57:27 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-24 01:11:47 | 显示全部楼层
,Erzeugung von Ladungsträgern I,ße große Verluste der Energie der Elektronen, mit der die Molekeln zu Rotationen, Schwingungen (natürlich nur Moleküle) oder auch elektronischen Übergängen angeregt werden; nur aus diesen können Ionen, Radikale oder auch andere Dissoziationsprodukte entstehen; außerdem können metastabile Spezies geb
发表于 2025-3-24 05:01:49 | 显示全部楼层
RF-Entladungen, des Isolators auf die Kathodenspannung abfallen. Beim Beschuß mit (positiv geladenen) Ionen lädt er sich allmählich positiver (weniger negativ) auf, weil ihm Elektronen entzogen werden, die die Ionen neutralisieren: das Potential auf der dem Plasma zugewendeten Seite geht gegen V., was zwar ausreic
发表于 2025-3-24 09:17:10 | 显示全部楼层
Sputtern, Arbeit von Seeliger und Sommermeyer (1935) begründet, die eine Cosinus-Verteilung des gesputterten Materials beobachteten, wie sie für Verdampfungsprozesse typisch ist. Nicht im Einklang mit einem Sublimationsprozeß war dagegen ein Versuch Wehners, der 1955 mit Hg.-Ionen von einem Wolfram-Einkrista
发表于 2025-3-24 10:55:24 | 显示全部楼层
Cyclotron-Resonanz-Systeme,gt werden, daß — bei sonst gleichen Parametern — durch Verwendung eines zur Waferoberfläche parallelen und 13 mT starken Magnetfeldes die Ätzrate von Si um den Faktor 7 und für Si.N. immerhin um den Faktor 2,5 erhöht werden konnte bei gleichzeitigem Rückgang des DC-Bias um einen Faktor 6 (Si) bzw. 5
发表于 2025-3-24 15:21:00 | 显示全部楼层
werden; die Photographie als unmittelbares Abbild der Wirklichkeit erlebte ihre erste große Blütezeit; als neue Kunstform entstanden die bewegten Bilder: der Film; die Telegraphie und das Telephon ermöglichten erstmals die direkte Übermittlung von Informationen. Ohne Unterschied zielten diese Erfin
发表于 2025-3-24 21:42:45 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-25 01:06:37 | 显示全部楼层
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