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Titlebook: Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication; From Particle Scale Jianfeng Luo,David A. Dornfeld

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楼主: panache
发表于 2025-3-27 00:20:57 | 显示全部楼层
s equation is a valuable start but represents none of the subtleties of the process. Specifically, we refer to the development of models with sufficient detail to allow the evaluation and tradeoff of process in978-3-642-06115-8978-3-662-07928-7
发表于 2025-3-27 01:23:43 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-27 08:07:11 | 显示全部楼层
Material Removal Regions in CMP: Coupling Effects of Slurry Chemicals, Abrasive Particle Size Distr realized. A small increase of the abrasive concentration in this region close to the pure chemical removal usually leads to a rapid increase of the material removal, Fig. 5.1. The observed linear increase is much slower than this rapid increase, and usually does not cross zero at zero weight concen
发表于 2025-3-27 12:12:31 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-27 16:31:57 | 显示全部楼层
发表于 2025-3-27 18:12:01 | 显示全部楼层
Jianfeng Luo,David A. Dornfelden. In diesem Sinne wünschen wir Ihnen neue Impulse beim Lesen und laden Sie ein, Autor In in unserer Buchreihe zu werden. Nun zum vorliegenden Beitrag von Elke Gruber: In den letzten Jahren sehen sich viele Handelsunternehmen in differenzierten Märkten mit zahlreichen Veränderungen in ihrem Umfeld konfrontie978-3-8244-8138-5978-3-663-09676-4
发表于 2025-3-27 23:00:46 | 显示全部楼层
Jianfeng Luo,David A. Dornfelden. In diesem Sinne wünschen wir Ihnen neue Impulse beim Lesen und laden Sie ein, Autor In in unserer Buchreihe zu werden. Nun zum vorliegenden Beitrag von Elke Gruber: In den letzten Jahren sehen sich viele Handelsunternehmen in differenzierten Märkten mit zahlreichen Veränderungen in ihrem Umfeld konfrontie978-3-8244-8138-5978-3-663-09676-4
发表于 2025-3-28 02:55:31 | 显示全部楼层
Jianfeng Luo,David A. Dornfeldmehreren Etappen. Mit dem Aufkommen der Dampfschiffahrt wollte man den Anschluß an die Nordsee und damit eine Förderung von Handel und Industrie im Binnenland erreichen. Auch die Schweiz hatte ein starkes Interesse an der Schiffbarmachung des Rheins und damit am Anschluß Basels an das Weltmeer. Der
发表于 2025-3-28 09:48:33 | 显示全部楼层
Jianfeng Luo,David A. Dornfeldmehreren Etappen. Mit dem Aufkommen der Dampfschiffahrt wollte man den Anschluß an die Nordsee und damit eine Förderung von Handel und Industrie im Binnenland erreichen. Auch die Schweiz hatte ein starkes Interesse an der Schiffbarmachung des Rheins und damit am Anschluß Basels an das Weltmeer. Der
发表于 2025-3-28 11:24:51 | 显示全部楼层
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