Frenetic
发表于 2025-3-25 04:11:21
https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8Entwicklung; Halbleiter; Mikroelektronik; Mikrometer; Mikrotechnologie; Plasmaphysik; Plasmaprozess; Plasma
Explosive
发表于 2025-3-25 09:18:32
Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1994
解脱
发表于 2025-3-25 11:58:23
http://reply.papertrans.cn/71/7001/700097/700097_23.png
Collision
发表于 2025-3-25 17:17:44
Das Plasma,ven Ladungsträger sind fast ausschließlich Elektronen, die positiven Ladungsträger Ionen des „Arbeitsgases”. Die ins Gas eingekoppelte Energie, also die geleistete Arbeit ., berechnet sich nach W = e.Ex mit . = 1/2(at)..
圆锥
发表于 2025-3-25 23:27:04
http://reply.papertrans.cn/71/7001/700097/700097_25.png
PAC
发表于 2025-3-26 00:28:56
http://reply.papertrans.cn/71/7001/700097/700097_26.png
allude
发表于 2025-3-26 08:05:29
http://reply.papertrans.cn/71/7001/700097/700097_27.png
indigenous
发表于 2025-3-26 09:52:40
Einleitung,is zu 50000 K erzielt werden. Dies sind Temperaturen, wie sie selbst, an der Oberfläche von O-Sternen, die blau-weiß strahlen, nur selten erreicht werden (unsere Sonne, ein G-Typ, hat eine Oberflächentemperatur von etwa 6000 K ).
填满
发表于 2025-3-26 15:09:12
,Trockenätzverfahren,bei einem “Target”, wie es zum Sputtern verwendet wird, nicht bemerkbar ist. Ist das “Target” dagegen strukturiert, ist dieser in verschiedenen Richtungen unterschiedliche Abtrag meßbar. Dies ist die Domäne des Trockenätzens.
FLEET
发表于 2025-3-26 17:20:57
DC-Entladungen,lektronen bereits eine zu hohe Geschwindigkeit, um Atome lediglich anzuregen; sie werden vielmehr ionisiert und ebenfalls beschleunigt, was zu einer starken Zunahme der Ionisierung führt (Crookescher Dunkelraum), während das elektrische Feld sich bis zum Erreichen der Negativen Glühzone fast vollständig abschwächt.