Diuretic 发表于 2025-3-23 11:33:50

Einleitung,kroelektronik in den vergangenen 50 Jahren. Mit der Erfindung des Transistors (1948) und der Herstellung erster integrierter Schaltungen auf der Basis des Halbleitermaterials Silizium (1958) begann eine technische Revolution, die mit ihren Ergebnissen und Produkten inzwischen in fast alle Lebensbere

柔声地说 发表于 2025-3-23 16:45:29

Basistechnologien der Mikrosystemtechnik,m von gefilterter Luft in dem Bereich, in dem Substrate partikelarm mit geeigneten Prozeßmedien und -anlagen prozessiert und gehandhabt werden Außerdem erfolgt in peripheren Einheiten die Bereitstellung aller erforderlichen Medien (z.B. Prozeßgase, Druckluft, DI-Wasser, Kühlwasser, Stromversorgung,

2否定 发表于 2025-3-23 18:11:37

Grundstrukturen und Anwendungen,ckelt und gefertigt: 1962 wurden Siliziumwafer als Verformungskörper mit integrierten Piezowiderständen realisiert . Als kommerziell erfolgreiche Produkte kamen seit Beginn der 70er Jahre Drucksensoren auf den Markt, bei denen Silizium-Membranen mit integrierten Piezowiderständen als mikrom

抵押贷款 发表于 2025-3-23 23:39:00

http://reply.papertrans.cn/31/3045/304448/304448_14.png

有助于 发表于 2025-3-24 05:46:42

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chuckle 发表于 2025-3-24 09:14:44

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我怕被刺穿 发表于 2025-3-24 14:09:25

On Development: Practice and EthicsSensor, Aktor, mikroelektronischer Schaltkreis, Datenspeicher). Man kann sie auch hinsichtlich ihrer primären Funktionalität klassifizieren, z.B. als mikromechanische, mikrooptische, mikrofluidische Komponente.

黑豹 发表于 2025-3-24 17:55:08

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observatory 发表于 2025-3-24 23:02:00

Grant Ledgerwood,Arlene Idol Broadhurstrch mikrotechnische Herstellungsprozesse erzeugt werden und besitzen gegenüber konventionell hergestellten Sonden die Vorteile der Massenfertigung und Integrierbarkeit unterschiedlicher funktioneller Elemente.

aneurysm 发表于 2025-3-25 03:00:48

Basistechnologien der Mikrosystemtechnik,he Anordnung und Eigenschaften werden durch die Anwendung, d.h. die in dieser Fertigungsumgebung herzustellenden Produkte, definiert. Die Größe eines Reinraums kann dabei wenige Quadratmeter (z.B. fir einen isolierten Mikromontageplatz) oder mehrere tausend Quadratmeter fir eine komplette Prozeßlinie (z.B. eine Speicherchipfertigung) betragen.
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查看完整版本: Titlebook: Einführung in die Mikrosystemtechnik; Grundlagen und Praxi Friedemann Völklein,Thomas Zetterer,Otto Mildenber Textbook 20001st edition View