Melatonin 发表于 2025-3-30 08:16:07
http://reply.papertrans.cn/87/8674/867367/867367_51.pngGRUEL 发表于 2025-3-30 14:32:44
Oxidation des Siliziums,n Modell über einen linearen und einen parabolischen Anteil beschrieben. Es ist sowohl für die trockene als auch für die feuchte Oxidation gültig. Auch Abscheideverfahren für Siliziumdioxid werden angesprochen.COLIC 发表于 2025-3-30 18:21:07
http://reply.papertrans.cn/87/8674/867367/867367_53.png吞下 发表于 2025-3-30 22:05:35
,Ätztechnik,h, wobei zwischen reaktivem Ionenätzen, Plasmaätzen und Ionenstrahlätzen unterschieden wird. Ätzprozesse für typische Materialien werden beispielhaft vorgestellt. Dabei sind Verfahren zur Endpunktdetektion für eine sichere Prozessführung unentbehrlich.